| Номер расценки | Наименование и характеристика работ и конструкций | чел./ч | маш./ч |
|---|
| ФЕРм32-01-101-01 | Установка визуального контроля качества проявления и качества поверхности полупроводниковых пластин — шт
| 29.2 | 0.16 |
| ФЕРм32-01-101-02 | Машина для определения глубины залегания Р-П перехода — шт
| 36 | 0.34 |
| ФЕРм32-01-101-03 | Установка функционального контроля — шт
| 29.2 | 0.24 |
| ФЕРм32-01-101-04 | Установка двухпозиционная для визуального контроля масок — шт
| 37.1 | 0.3 |
| ФЕРм32-01-101-05 | Установка контроля сферы маски — шт
| 41.5 | 0.48 |
| ФЕРм32-01-101-06 | Система параметрического функционального контроля полупроводниковых ЗУ и БИС микропроцессоров — компл
| 58.4 | 1.2 |
| ФЕРм32-01-101-07 | Установка контроля прозрачности сферизованных масок ЦЭЛТ — компл
| 32.6 | 0.23 |
| ФЕРм32-01-101-08 | Система контроля микроканальных пластин по структурным параметрам лазерная с управлением от ЭВМ — компл
| 49.4 | 1.3 |
| ФЕРм32-01-101-09 | Установка контроля параметров: микроканальных пластин — компл
| 67.4 | 0.9 |
| ФЕРм32-01-101-10 | Установка контроля параметров: катодолюминофоров — компл
| 56.1 | 1.38 |